Kyocera präsentiert keramische Mehrlagen-Substrate für Plasma-Reaktoren

Internationale Konferenz für Plasmaoberflächentechnik PSE in Garmisch-Partenkirchen

22. August 2012

Kyoto / Esslingen - Der japanische Technologie-Konzern Kyocera – einer der weltweit führenden Hersteller von Keramik-Substraten für die Mikroelektronik-Industrie – präsentiert am 11. und 12. September 2012 seine keramischen Mehrlagen-Substrate für Plasma-Reaktoren auf der Internationalen Konferenz für Plasmaoberflächentechnik PSE (Plasma Surface Engineering) in Garmisch-Partenkirchen (Stand 34).

Die keramische Mehrlagen-Substrattechnologie von Kyocera wird nun auch für die Anwendung von atmosphärischem DBE-Plasma (dielektrisch behinderte Entladung) genutzt. Die Einsatzmöglichkeiten reichen von der industriellen Oberflächenbehandlung wie reinigen, ätzen oder modifizieren von Oberflächeneigenschaften über chemische Reformierung von Wasser oder Gasen – darunter Geruchsbekämpfung und Entstaubung – bis zu biologischen Anwendungen wie Entkeimung von Medizinprodukten oder Nahrungsmittelverpackungen. Die industrielle Oberflächen-behandlung ist für verschiedene Materialien von Metall über Plastik bis hin zu Textilien anwendbar.

Die Mehrlagen-Substrate basieren auf Kyoceras Kernkompetenz in der Laminierung und dem Co-Firing mehrerer metallisierter Keramik-Schichten. Die Substrat-Technologie wird bereits in vielen verschiedenen Bereichen angewendet. Beispiele sind die Halbleiterindustrie, die Verpackung von elektronischen Bauteilen für Anwendungen in der IT-Infrastruktur, der Automobilindustrie oder der Energietechnik.

Zurzeit sind drei geometrische Design-Optionen erhältlich, von denen jede eine hohe Flexibilität in der Anordnung der Elektrodenstruktur bietet und sich je nach Kundenwunsch gestalten lässt. Die hermetisch eingebetteten Elektroden erlauben es, das Substrat u.a. in Wasser oder in korrosiver Umgebung einzusetzen. Darüber hinaus sind eingebettete Heizelemente (z.B. zum Vorwärmen des Substrates) oder elektrostatische Elektroden zusätzlich wählbar. Durch den Einsatz der Kyocera-Hartlöttechnologie zur Verbindung von Keramik und Metall können standardisierte Verbindungselemente, wie Steckstifte, angebracht werden, was eine einfache Anbindung z.B. an eine Stromversorgung ermöglicht.

Die Keramik selbst ist ein Kyocera proprietäres Aluminium-Oxid. Durch ihre guten thermischen Eigenschaften, ihre gute chemische Beständigkeit wie auch ihr hervorragendes elektrisches sowie mechanisches Verhalten – selbst bei hohen Temperaturen – eignet sie sich besonders für Anwendungen mit höchsten Ansprüchen an Zuverlässigkeit. Beispielsweise wird dieses Material seit langem in der Luft- und Raumfahrt eingesetzt.

Für weitere Informationen zu Kyocera:
www.kyocera.de

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